A hűtőegy hűtővíz berendezés, amely állandó nyomást, állandó hőmérsékletet és állandó áramlást tud biztosítani. Ez úgy történik, hogy megfelelő mennyiségű vizet fecskendeznek a víztartályba, hűtik a vizet a hűtőrendszeren keresztül, és egy szivattyú segítségével szállítják a hűtővizet a hűtendő berendezéshez. A hűtővíz elvonja a hőt a berendezésben a hűtőhatás elérése érdekében. Hűtővizet adnak a közepes frekvenciájú berendezésekhez főként annak nagy frekvenciája és nagy árama miatt. Amikor a magnetron porlasztó célpontot használják, az magas hőmérsékletet generál, és deformálja a pisztolyt, ezért a pisztoly hűtéséhez vízköpeny szükséges. A bevonattechnika egyik legkiemelkedőbb vívmányának mondható a mágnesporlasztás. Előnyei a jó film-alap kötőerő, a nagy porlasztási sebesség, az alacsony szubsztrátum hőmérséklet-emelkedés és a jó eszközstabilitás. A hűtőnek önálló vízkeringető rendszere és független hűtőrendszere van, amelyet nem befolyásol a külső környezet. Ezek a tulajdonságok együttesen megbízható hőmérsékletszabályozást és kiváló minőségű bevonási eredményeket biztosítanak a vákuumionos bevonási folyamathoz.
A vákuumionos bevonógép hűtőjének funkciója és jellemzői a következők:
1. A céltárgy hűtése: A vákuumionos bevonógépben lévő céltárgy fémionok előállítására szolgál, de a bevonási folyamat során sok hőt termel. A hűtő a keringető hűtőrendszeren keresztül gyorsan lehűti a célpontot, hogy fenntartsa a cél normál üzemi hőmérsékletét, megakadályozza a berendezés túlmelegedését, ami meghibásodást okoz, vagy csökkenti a bevonat minőségét, és biztosítja az ionok stabil kibocsátását.
2.Stabilitásellenőrzés: Azhűtőstabilan tudja szabályozni a berendezés hőmérsékletét, hogy a berendezés stabilan működjön a normál működési hőmérsékleti tartományon belül. Ez segít megőrizni a bevonat konzisztenciáját és stabilitását, javítva a bevonat minőségének konzisztenciáját és megbízhatóságát.
3. Nagy pontosságú beállítás: A hűtő üzemi paraméterei a speciális követelményeknek megfelelően állíthatók, beleértve a hűtővíz hőmérsékletét, áramlását és nyomását. Ez lehetővé teszi a hűtő számára, hogy precíz hőmérséklet-szabályozást biztosítson a különböző bevonási követelményeknek megfelelően, biztosítva a bevonási folyamat stabilitását és kiváló minőségét.
3. Energiatakarékosság: A nagy hatékonyságú hűtőteljesítmény és a hűtő precíz vezérlési funkciója segít csökkenteni az energiafogyasztást. A berendezés hőmérsékletének hatékony szabályozásával csökkenthető a további energiapazarlás, és javítható az energiafelhasználás hatékonysága.
5. Környezetvédelmi teljesítmény: a hűtő alkalmazása vákuumionos bevonógépben csökkentheti a környezetre gyakorolt káros hatásokat. Keringető vizet használ a hűtésre, csökkenti a vízfogyasztást, működés közben alacsonyabb zajt és vibrációt produkál.
6. Környezetvédelem: A hűtő alkalmazása a vákuumionos bevonógépben a környezeti hőmérsékletet és páratartalmat is szabályozhatja, hogy jó munkakörnyezetet biztosítson. A megfelelő környezeti hőmérséklet és páratartalom növelheti a vákuum mértékét, csökkentheti a szennyeződések és gázok hatását, és javíthatja a bevonat minőségét.
Összefoglalva, alkalmazása ahűtőkA vákuumionos bevonógépekben számos szempontot lefed, mint például a hűtési célokat, a szubsztrátok hűtését, a hűtőberendezéseket és a környezeti szabályozást, a berendezések és a munkadarabok hőmérséklet-szabályozásának biztosítását a bevonási folyamat során, a bevonat minőségének és termelékenységének javítását.